面精度λから、ＰＶ(Peak to Valley)山から谷までの最大誤差値による波面収差
と
ＲＭＳ(Reast Mean Square)平均２乗平方根による波面収差値を計算します。
面精度を指定します。 λ/
ＰＶ(Peak to Valley)山から谷までの最大誤差値から面精度λによる波面収差
を計算
・・・ＰＶ（0.158）≒λ/４）
干渉計での使用波長 【He-Ne 633nm】
干渉計ＰＶ値
ＲＭＳ(Reast Mean Square)平均２乗平方根から面精度λによる波面収差を
計算します
・・・ＲＭＳ（0.025）≒λ/４）
干渉計での使用波長 【He-Ne 633nm】
干渉計RMS値